УДК. 536.24

В. К. Самойликов

ТЕПЛООБМЕН МЕЖДУ ПОДЛОЖКОЙ И ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЕМ 
В УСЛОВИЯХ ИХ ТЕПЛОВОГО КОНТАКТА

Приводятся результаты экспериментального исследования 
высокотемпературного контактного теплообмена между 
полированной поверхностью подложки и шероховатой 
поверхностью подложкодержателя при различных условиях 
контакта между ними, газовых средах, разрежении, расходах 
газа.

Московский институт электронной техники