"Инженерно-физический журнал"
Издается в АНК "Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси"
Адрес редакции и издателя ИФЖ

УДК 621.382

М. В. Казитов , В. В. Нелаев , Е. Ф. Ноготов

3D-МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА
ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПРИМЕСЕЙ

Трехмерное (3D) математическое моделирование технологических операций 
наиболее  реально  отражает  физические  процессы,  происходящие  при  
формировании  структурных  элементов  сверхбольших  интегральных схем 
(СБИС). Однако многомерное моделирование технологии изготовления СБИС  
требует применения экономичных алгоритмов численного решения исходной  
математической задачи.  Предлагается  эффективная методика численного 
расчета 3D-профиля распределения легирующих примесей,  формирующегося 
в   результате   процесса  термического  отжига   после  имплантации. 
Рассмотрена  задача  моделирования  диффузионного   перераспределения 
примеси при отжиге в активной среде. Обсуждаются некоторые результаты 
расчетов.

Белорусский государственный университет 
информатики и радиоэлектроники,
Академический научный комплекс
"Институт тепло- и массообмена
им. А. В. Лыкова НАН Беларуси",
г. Минск

Как приобрести ИФЖ непосредственно у издателя
Научно-технические и теоретические разработки в области тепло- и массообмена
(по материалам рекламы в ИФЖ)

IFZH7492019985 IFZH749205