ТОМ 47, №3
Расчет и оптимизация нагрева катодной подложки ВИС
Автор: Ашкинази Л. А. , Головченко А. А. , Гордин В. А.
Стр: 497
			
Ашкинази Л. А. , Головченко А. А. , Гордин В. А.. 
Расчет и  оптимизация нагрева катодной подложки ВИС // Инженерно-физический журнал. 
. ТОМ 47, №3. С. 497. 
		Возврат к списку
 																												
