ТОМ 43, №3
Расчет температурных полей в кремниевой пластине при оптическом импульсном отжиге
Автор: Стержанов Н. И., Пилипенко В. И., Топчий В. Н., Слободкин Л. С., Пшеничная Г. Н., Вакульчик П. А.
Стр: 463
			
Стержанов Н. И., Пилипенко В. И., Топчий В. Н., Слободкин Л. С., Пшеничная Г. Н., Вакульчик П. А.. 
Расчет температурных полей в кремниевой пластине при оптическом импульсном отжиге // Инженерно-физический журнал. 
. ТОМ 43, №3. С.  463. 
		Возврат к списку
 																												
