ТОМ 43,   №3

Расчет температурных полей в кремниевой пластине при оптическом импульсном отжиге



Автор:  Стержанов Н. И., Пилипенко В. И., Топчий В. Н., Слободкин Л. С., Пшеничная Г. Н., Вакульчик П. А.
Стр:  463

Стержанов Н. И., Пилипенко В. И., Топчий В. Н., Слободкин Л. С., Пшеничная Г. Н., Вакульчик П. А..  Расчет температурных полей в кремниевой пластине при оптическом импульсном отжиге // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 43, №3. С.  463.


Возврат к списку