МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОКОНЦЕНТРАЦИОННОЙ ДИФФУЗИИ ФОСФОРА В КРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ

Проведено моделирование диффузии фосфора в кристаллическом кремнии при легировании из поверхностного источника при температуре 840 ^oС и длительности 10 мин. Получено хорошее совпадение с экспериментальными данными, что подтверждает адекватность использованной модели высококонцентрационной диффузии фосфора, которая учитывает дрейф собственных межузельных атомов в поле внутренних упругих напряжений.
Автор:  О. И. Величко, В. В. Аксенов, Л. П. Ануфриев, Н. Ф. Голубев, А. Ф. Комаров
Ключевые слова:  фосфор, кремний, диффузия, напряжения, солнечный элемент
Стр:  626