ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК АМОРФНОГО И НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ АКТИВАЦИИ ГОРЯЧЕЙ НИТЬЮ

Получены тонкие пленки аморфного кремния с включениями нанокристаллической фазы кремния методом газофазного химического осаждения с активацией предшественника нагретой нитью. Исследовано влияние давления газа и соотношения водород–моносилан на скорость роста и степень кристалличности осажденного кремния. Установлены характерные значения параметров синтеза для получения пленок кремния различной степени кристалличности.
Автор:  М. Н. Андреев, А. К. Ребров, А. И. Сафонов, Н. И. Тимошенко, К. В. Кубрак, В. С. Суляева
Ключевые слова:  газофазное химическое осаждение с активацией нагретой нитью, тонкие пленки крем - ния, аморфный кремний, нанокристаллический кремний
Стр:  969