ТОМ 27,   №4

Кинетика роста низкотемпературных окисных пленок на поверхности кремния


 

Автор:  Л. И. Гурский, В. М. Колешко, Б. С. Резников, И. В. Некарюкин, А. А. Ковалевский
Стр:  728

Л. И. Гурский, В. М. Колешко, Б. С. Резников, И. В. Некарюкин, А. А. Ковалевский.  Кинетика роста низкотемпературных окисных пленок на поверхности кремния // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 27, №4. С. 728.


Возврат к списку