ТОМ 22, №1
Распределение атомов примеси в объеме полупроводника при диффузии в щель в маскирующей пленке
Автор: Ю. Ф. Блинов, Д. А. Сеченов
Стр: 163
			
Ю. Ф. Блинов, Д. А. Сеченов. 
Распределение атомов примеси в объеме полупроводника при диффузии в щель в маскирующей пленке // Инженерно-физический журнал. 
. ТОМ 22, №1. С. 163. 
		Возврат к списку
 																												
