ОПТИМИЗАЦИЯ РЕЖИМОВ ПОЛУЧЕНИЯ ЛАЗЕРНО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ АЛМАЗОПОДОБНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ С ВЫСОКИМИ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ

Исследован процесс осаждения алмазоподобного углеродного покрытия на подложку в результате воздействия излучения технологического лазера (t ~ 20 нс, λ = 1.06 мкм) на мишень из высокоориентированного пиролитического графита марки УПВ 1 в вакууме. Показано, что путем изменения плотности мощности лазерного излучения на поверхности мишени, скорости сканирования лазерного луча по этой поверхности, частоты следования лазерных импульсов и температуры подложки, можно управлять в широких пределах соотношением sp² - и sp³ -углеродных связей в осаждаемом покрытии. Установлено, что формирование указанного покрытия с преимущественным содержанием sp³ -связанного углерода реализуется при плотности мощности лазерного излучения q ≥ 5.6 ⋅ 108 Вт/см² . При этом целесообразно подбирать частоту импульсов лазерного излучения и скорость сканирования лазерного луча по поверхности мишени таким образом, чтобы в одну область поверхности мишени последовательно попадало от 10 до 14 лазерных импульсов. Показано, что при температуре подложи T ≥ 423 K происходит резкое уменьшение sp³ -связанного углерода в покрытии и ухудшение его свойств
  Автор:  В. К. Гончаров, Г. А. Гусаков, М. В. Пузырёв
Ключевые слова:  эрозионный лазерный факел, ионные потоки, алмазоподобные углеродные покрытия
Стр:  766