ХАРАКТЕРИСТИКИ СТРУЙНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ В ПРОЦЕССАХ МОДИФИКАЦИИ ИЗДЕЛИЙ

Исследованы параметры высокочастотного индукционного разряда пониженного давления, учет которых необходим при модификации изделий различной физической природы. Представлены распределения температуры, скорости движения плазмы, напряженности магнитного поля и плотности ионного тока в струе разряда. Показано, что бóльшая температура и ме'ньший градиент температуры в струе разряда достигаются при давлении 66.5 Па в ней. Отдельно проведено исследование распределения температуры в струе разряда в присутствии обрабатываемого материала. Оценен вклад имплантации ионов в материал в его нагрев при обработке в струе высокочастотного индукционного разряда пониженного давления
Исследованы параметры высокочастотного индукционного разряда пониженного давления, учет которых необходим при модификации изделий различной физической природы. Представлены распределения температуры, скорости движения плазмы, напряженности магнитного поля и плотности ионного тока в струе разряда. Показано, что бóльшая температура и ме'ньший градиент температуры в струе разряда достигаются при давлении 66.5 Па в ней. Отдельно проведено исследование распределения температуры в струе разряда в присутствии обрабатываемого материала. Оценен вклад имплантации ионов в материал в его нагрев при обработке в струе высокочастотного индукционного разряда пониженного давления Автор:  И. Ш. Абдуллин, И. К. Некрасов, Ф. Р. Сагитова, С. В. Миронов
Ключевые слова:  плазменная модификация, высокочастотный индукционный разряд, поток низкоэнергетических ионов, модификация материалов
Стр:  561