ВЛИЯНИЕ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ

Исследована возможность улучшения электрофизических параметров подзатворного диэлектрика, полученного в результате пирогенного окисления кремния, путем его быстрой термической обработки. Показано, что такая обработка подзатворного диэлектрика позволяет уменьшить напряжение плоских зон,, заряд на границе раздела кремний–двуокись кремния и поверхностный потенциал, увеличить пробивное напряжение диэлектрика и уменьшить ток утечки в нем
  Автор:  Пилипенко В. А., Солодуха В. А., Горушко В. А.
Ключевые слова:  быстрая термическая обработка, нарушенный слой, кремниевая пластина, твердофазная рекристаллизация, коэффициенты преломления и поглощения
Стр:  1408