ОСАЖДЕНИЕ КАТОДНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК В ПЛАЗМЕ СЛАБОТОКОВОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ

Плазмохимическое осаждение углеродных пленок из смеси углеводородов (метан, пропан-бутан) с гелием проводилось в условиях разряда постоянного тока при атмосферном давлении на подложки (Ni, Cu),которые являлись катодом в процессе разряда. При малых временах осаждения наблюдается образование преимущественно разупорядоченных пленок из графитовых кристаллитов. С увеличением продолжительности осаждения формируется массив углеродных нанотрубок, покрытых структурированным углеродом, по краю пленки образуются слои графитированных чешуек.
Автор:  Жданок С. А., Крылов И. С., Силенков М. А., Филатов С. А., Шушков С. В.
Ключевые слова:  плазмохимическое осаждение, катодное покрытие, углеродные наноматериалы, пленки, нанотрубки, графитовые кластеры.
Стр:  498