ТОМ 78,   №1

ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ И МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В РЕАКТОРЕ КИПЯЩЕГО СЛОЯ


Выполнен теоретический анализ и рассмотрены основные проблемы технологии получения поликристаллического кремния пиролитическим разложением моносилана в реакторе кипящего слоя. Представлены одномерная двухфазная модель данного процесса и основные результаты математического моделирования.

Автор:  Бородуля В. А., Виноградов Л. М., Рабинович О. С., Акулич А. В.
Стр:  48

Бородуля В. А., Виноградов Л. М., Рабинович О. С., Акулич А. В..  ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ И МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В РЕАКТОРЕ КИПЯЩЕГО СЛОЯ // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 78, №1. С. 48.


Возврат к списку