МОДЕЛЬ ЛАЗЕРНОГО ГЕТТЕРИРОВАНИЯ БЫСТРОДИФФУНДИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ

Предложена модель геттерирования быстродиффундирующих примесей в кремниевых пластинах, позволяющая определить эффективные режимы его проведения, обеспечивающие получение высококачественных кремниевых пластин с воспроизводимыми характеристиками для применения их в технологии создания сверхбольших интегральных схем.
Автор:  В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко
Стр:  190