ТОМ 76,   №2

ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПУЧКА ИОНОВ, ФОРМИРУЕМОГО В СКРЕЩЕННЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ И МАГНИТНОМ ПОЛЯХ


Приведены данные экспериментальных исследований характеристик пучка положительных ионов, сформированного в ионно-плазменной системе с генерацией разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях. Описаны условия формирования разряда и особенности разработанной конфигурации разрядного устройства. Показано, что такие разрядные системы способны формировать широкие пучки низкоэнергетичных ионов и могут быть с успехом применены в различных областях тонкопленочной технологии.

Автор:  Д. А. Котов, А. П. Достанко
Стр:  193

Д. А. Котов, А. П. Достанко.  ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПУЧКА ИОНОВ, ФОРМИРУЕМОГО В СКРЕЩЕННЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ И МАГНИТНОМ ПОЛЯХ // Инженерно-физический журнал. 2003. ТОМ 76, №2. С. 193.


Возврат к списку