Моделирование морфологии пленок алюминия до и после различных видов термообработки

Рассмотрен процесс изменения структуры пленок алюминия на кремнии при формировании металлизации интегральных микросхем в условиях как длительной, так и быстрой термообработок. Предложена аналитическая модель образования и рекристаллизации конденсируемых пленок алюминия, основанная на использовании метода Монте-Карло, описывающая изменение размера зерен и углов в тройных точках в зависимости от температуры и времени термообработки.
Автор:  В. А. Пилипенко, В. М. Молофеев, В. Н. Пономарь, А. Н. Михнюк, В. М. Борздов
Стр:  99-103