Особенности сегрегации легирующих примесей элементов v(a)-подгруппы на угловых конфигурациях границы окисления "кремний/двуокись кремния"

На основе компьютерного моделирования физико-химического процесса сегрегации легирующих примесей, имплантированных в базовый материал (кремний), изучаются особенности эжекции элементов V(a)-подгруппы (фосфора, мышьяка и сурьмы) на угловых конфигурациях границы окисления "кремний/двуокись кремния".
Автор:  Г. А. Тарнавский, С. И. Шпак, М. С. Обрехт
Стр:  142-147