ТОМ 75,   №3

Численное моделирование трехмерной нестационарной конвекции расплава кремния в емкости, типичной для установок метода чохральского


Для вращающейся емкости, усложненная форма которой типична для тиглей, использующихся при выращивании кристаллов по методу Чохральского, проведены расчеты квазипериодических и стохастических режимов трехмерной конвекции расплава кремния Pr=0.015. Получен обширный набор данных о структуре конвекции и спектральном составе пульсаций. Исследовано влияние вращения кристалла и тигля на конвекцию и тепловое состояние расплава.

Автор:  Н. Г. Иванов, Е. М. Смирнов
Стр:  63-69

Н. Г. Иванов, Е. М. Смирнов.  Численное моделирование трехмерной нестационарной конвекции расплава кремния в емкости, типичной для установок метода чохральского // Инженерно-физический журнал. 2002. ТОМ 75, №3. С. 63-69.


Возврат к списку