Датчик давления на основе тензочувствительных пленок теллурида висмута-сурьмы

Предлагается новая конструкция полупроводникового датчика давления на основе тензочувствительных пленок теллурида висмута-сурьмы, позволяющая обеспечить термокомпенсацию всей приборной структуры. Приводятся технические характеристики предлагаемого тензометрического датчика для измерения давлений жидкостей и газов.
Автор:  Х. Т. Игамбердиев, К. Э. Онаркулов, Р. Т. Расулов, Д. А. Юсупова
Стр:  66-67