ТОМ 74,   №5

Кинетика физического и химического осаждения вещества из газовой фазы в каналах


На основании молекулярно-кинетического подхода исследуются процессы физического и химического осаждения вещества из газовой фазы на внутренней поверхности канала. Обсуждается проблема нанесения равномерных по толщине пленок.

Автор:  В. В. Левданский, И. Смолик
Стр:  142-145

В. В. Левданский, И. Смолик.  Кинетика физического и химического осаждения вещества из газовой фазы в каналах // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 74, №5. С. 142-145.


Возврат к списку