ТOM 71,   №2

Нелинейная модель распределения имплантируемых ионов при больших дозах


Получена нелинейная модель распределения имплантированных ионов при больших дозах с учетом распыления, объемного роста мишени и торможения на внедренных атомах.

Автор:  А. Л. Данилюк
Стр:  277-281

А. Л. Данилюк.  Нелинейная модель распределения имплантируемых ионов при больших дозах // Инженерно-физический журнал. 1998. ТOM 71, №2. С. 277-281.


Возврат к списку