ТОМ 68,   №6

Влияние морфологии слоев газофазного нитрида алюминия на термическое сопротивление цилиндрических пакетов Мо-АlN-Мо


 

Автор:  Кобяков В. П.
Стр:  918-923

Кобяков В. П. .  Влияние морфологии слоев газофазного нитрида алюминия на термическое сопротивление цилиндрических пакетов Мо-АlN-Мо // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 68, №6. С. 918-923.


Возврат к списку