ТОМ 52,   №3

Приближенная модель осаждения тонких пленок из парогазовой фазы в трубчатой диффузионной печи



Автор:  Георгиев Г. И., Карбанов С. Г., Пеев Г. А.
Стр:  405

Георгиев Г. И., Карбанов С. Г., Пеев Г. А..  Приближенная модель осаждения тонких пленок из парогазовой фазы в трубчатой диффузионной печи // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 52, №3. С. 405.


Возврат к списку