УПРАВЛЕНИЕ ПРОФИЛЕМ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ В ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЯХ, ВЫРАЩЕННЫХ ИЗ РАСТВОРА-РАСПЛАВА С КОНТРОЛИРУЕМЫМ ОБЪЕМОМ И СОСТАВОМ

Исследованы возможности получения линейных и нелинейных профилей распределения примеси жидкостной эпитаксией. Получены аналитические выражения для профиля распределения примеси в эпитаксиальных слоях, выращенных из растворов-расплавов с постоянным объемом и с изменяющимся объемом, где изменение объема основного раствора-расплава и количества легирующей примеси в нем достигается за счет примешивания к нему дополнительного насыщенного раствора-расплава через капиллярное отверстие. Показано, что в этом случае профиль распределения примеси определяется скоростью подачи дополнительного раствора-расплава. Приведены сравнения экспериментальных данных с расчетными.
Автор:  А. В. Каримов, Д. М. Ёдгорова, О. А. Абдулхаев
Ключевые слова:  жидкостная эпитаксия, профиль распределения примесей, коэффициент распределения, раствор-расплав, капиллярное отверстие, смешивание.
Стр:  795