ТОМ 85,   №1

ОПЫТ ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ ГАЗОСТРУЙНЫМ МЕТОДОМ


Экспериментально исследовано газоструйное осаждение углеродных и алмазоподобных пленок на подложку при активации газа-предшественника горячей проволочной сеткой. Испытано несколько конструкций проволочного активатора для осаждения пленок из газовой смеси CH4, H2, Ar. Углеродная структура полученных пленок определена по спектрам комбинационного рассеяния cвета.

Автор:  В. А. Володин, А. А. Емельянов, А. К. Ребров, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин
Ключевые слова:  газоструйное осаждение, термические активаторы, углеродные пленки, спектры комбинационного рассеяния света
Стр:  93

В. А. Володин, А. А. Емельянов, А. К. Ребров, Н. И. Тимошенко, И. Б. Юдин.  ОПЫТ ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ ГАЗОСТРУЙНЫМ МЕТОДОМ // Инженерно-физический журнал. 2012. ТОМ 85, №1. С. 93.


Возврат к списку