ТОМ 85,   №6

СТРУКТУРА УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДЕННЫХ ИЗ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ


Углеродные пленки формировались на анодных (Ni, Cu) подложках из слаботокового (10-100 мА) газового разряда в смеси He/CH4 при атмосферном давлении. При осаждении на подложки без подогрева образуются аморфные пленки с субмикронной фрактальной структурой поверхности. Пленки, выращенные на подогреваемой (~1000oС) подложке, имеют слоистую графитированную структуру.

Автор:  С. В. Шушков, И. С. Крылов, С. В. Гусакова, М. А. Силенков, С. А. Жданок
Ключевые слова:  газовый разряд, плазменное осаждение, углеродные пленки, графеновые структуры.
Стр:  1318

С. В. Шушков, И. С. Крылов, С. В. Гусакова, М. А. Силенков, С. А. Жданок.  СТРУКТУРА УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДЕННЫХ ИЗ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ // Инженерно-физический журнал. 2012. ТОМ 85, №6. С. 1318.


Возврат к списку